在全球電子信息產(chǎn)業(yè)向高精尖方向迭代升級(jí)的進(jìn)程中，電子制造業(yè)已成為國(guó)民經(jīng)濟(jì)的支柱性產(chǎn)業(yè)之一。其生產(chǎn)流程涵蓋晶圓制造、芯片封裝、印制電路板（PCB）加工、電子元器件組裝等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，涉及清洗、蝕刻、電鍍、顯影、剝離等數(shù)十道工藝，每道工藝均會(huì)形成工業(yè)廢水。本文將介紹一家專注電子廠廢水處理的環(huán)保公司——蘇州依斯倍環(huán)保裝備科技有限公司，看他家是怎么處理這類廢水的。

蘇州依斯倍環(huán)保裝備科技有限公司是一家來自荷蘭外商投資的環(huán)保企業(yè)，于2011年在蘇州工業(yè)園區(qū)正式成立，致力于為電子廠廢水處理提供完整的循環(huán)利用及零排放解決方案，業(yè)務(wù)板塊涵蓋EPC工程、提標(biāo)改造、污水站運(yùn)維等。依斯倍工業(yè)廢水循環(huán)利用及零排放處理系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用于表面處理電鍍、汽車制造、涂裝生產(chǎn)線、新能源新材料、電子半導(dǎo)體、航空船舶、金屬加工等行業(yè)。

電子廠廢水的核心特征體現(xiàn)為 “成分異質(zhì)性強(qiáng)、污染物濃度波動(dòng)大、毒性物質(zhì)占比高”，不同生產(chǎn)工序產(chǎn)生的廢水水質(zhì)差異顯著，需基于源頭特征精準(zhǔn)識(shí)別污染風(fēng)險(xiǎn)。從污染物類別來看，首先是重金屬離子，主要包括銅（Cu2?）、鎳（Ni2?）、鉛（Pb2?）、鎘（Cd2?）、鉻（Cr??）、汞（Hg2?）等，多來源于電鍍、蝕刻、晶圓清洗、元器件焊接工序。其次是有機(jī)污染物，常見成分有乙二醇甲醚、異丙醇、N - 甲基吡咯烷酮（NMP）、鄰苯二甲酸酯及光刻膠殘留物，主要來自顯影、剝離、清洗、涂膠工序。此外，廢水中還含有懸浮物和酸堿物質(zhì)。

電子廠廢水處理需遵循 “源頭分類收集 - 分質(zhì)精準(zhǔn)處理 - 資源循環(huán)回用” 的技術(shù)路線，針對(duì)不同水質(zhì)特征匹配專項(xiàng)處理單元，形成 “物化預(yù)處理 + 生化深度降解 + 深度凈化回用” 的組合工藝體系，具體技術(shù)應(yīng)用如下：

（一）源頭分類收集：降低處理復(fù)雜度的前提

由于不同工序廢水的污染物類型、濃度差異極大，混合后會(huì)導(dǎo)致藥劑消耗激增、處理效率下降，因此必須通過專用管網(wǎng)實(shí)現(xiàn) “分質(zhì)分流”。其中，含重金屬廢水需單獨(dú)收集電鍍、蝕刻工序排水，避免與有機(jī)廢水混合導(dǎo)致重金屬絡(luò)合，增加后續(xù)處理難度；高濃度有機(jī)廢水要收集顯影、剝離工序產(chǎn)生的含光刻膠、有機(jī)溶劑廢水，單獨(dú)進(jìn)入高級(jí)氧化單元；酸堿廢水需收集酸洗、堿洗廢水，先進(jìn)入中和調(diào)節(jié)池進(jìn)行 pH 預(yù)調(diào)節(jié)，減少對(duì)后續(xù)工藝的沖擊；低污染廢水則收集冷卻、清洗工序產(chǎn)生的低 SS、低 COD 廢水，經(jīng)簡(jiǎn)單過濾后可直接進(jìn)入回用系統(tǒng)，降低處理成本。

（二）分質(zhì)處理技術(shù)：針對(duì)污染物的精準(zhǔn)去除

1. 重金屬去除技術(shù)

針對(duì)含重金屬廢水，核心目標(biāo)是將重金屬離子轉(zhuǎn)化為不溶性沉淀物或通過吸附 / 膜分離實(shí)現(xiàn)截留。主流技術(shù)中，化學(xué)沉淀法是向廢水中投加氫氧化鈣、硫化鈉、聚合硫酸鐵（PFS）等藥劑，使重金屬離子形成氫氧化物、硫化物沉淀，經(jīng)沉淀池或壓濾機(jī)分離，適用于處理濃度較高的銅、鎳廢水，去除率可達(dá) 99% 以上；離子交換法采用螯合樹脂（如氨基膦酸型、亞氨基二乙酸型）對(duì)低濃度重金屬廢水（<50mg/L）進(jìn)行處理，樹脂可通過再生劑（如鹽酸、硫酸）實(shí)現(xiàn)循環(huán)利用，出水重金屬濃度可降至 0.1mg/L 以下，滿足《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB 39731-2020）要求；膜分離法則采用反滲透（RO）、納濾（NF）技術(shù)，利用膜的截留作用分離重金屬離子，適用于末端深度處理或回用系統(tǒng)，出水可直接用于工藝補(bǔ)水，但需前置預(yù)處理去除 SS 和有機(jī)物，避免膜污染。

2. 有機(jī)污染物降解技術(shù)

針對(duì)難降解有機(jī)廢水，需通過 “高級(jí)氧化破環(huán) + 生化降解” 的組合工藝，將大分子有機(jī)物轉(zhuǎn)化為可生物降解的小分子物質(zhì)（如 CO?、H?O）。其中，高級(jí)氧化技術(shù)（AOPs）包括芬頓氧化（H?O?+Fe2?）、臭氧氧化（O?）、紫外 - 過氧化氫（UV-H?O?）等，通過產(chǎn)生羥基自由基（?OH，氧化電位 2.8V）破壞有機(jī)物分子結(jié)構(gòu)，降低 COD 并提高 B/C 比（從 < 0.3 提升至 > 0.5），為后續(xù)生化處理創(chuàng)造條件；生化處理技術(shù)采用 “厭氧 + 好氧” 組合工藝，厭氧單元（如 UASB、IC 反應(yīng)器）利用厭氧菌降解大分子有機(jī)物，好氧單元（如 MBR 膜生物反應(yīng)器、SBR 序批式反應(yīng)器）利用好氧微生物進(jìn)一步降解小分子有機(jī)物，MBR 工藝因膜截留作用可提高污泥濃度，有機(jī)負(fù)荷耐受能力更強(qiáng)，COD 去除率可達(dá) 85%-95%。

3. 酸堿與懸浮物處理技術(shù)

在酸堿處理方面，采用酸堿中和池，通過 pH 在線監(jiān)測(cè)儀自動(dòng)投加酸 / 堿藥劑（如硫酸、氫氧化鈉），將廢水 pH 調(diào)節(jié)至 6-9 的適宜范圍，避免對(duì)后續(xù)工藝設(shè)備的腐蝕和微生物活性的抑制；對(duì)于懸浮物處理，向廢水中投加聚合氯化鋁（PAC）、聚丙烯酰胺（PAM）等混凝劑，通過吸附、架橋作用使懸浮物形成絮體，經(jīng)斜管沉淀池或高效澄清池分離，SS 去除率可達(dá) 90% 以上。

（三）深度凈化與回用：實(shí)現(xiàn)資源循環(huán)的關(guān)鍵

隨著國(guó)家 “雙碳” 目標(biāo)與水資源節(jié)約政策的推進(jìn)，電子廠廢水 “零排放” 或 “近零排放” 已成為行業(yè)趨勢(shì)，深度處理與回用系統(tǒng)是核心支撐。深度凈化單元采用 “超濾（UF）+ 反滲透（RO）” 雙膜工藝，UF 去除水中殘留的懸浮物、膠體和微生物，RO 截留溶解性鹽類和微量有機(jī)物，出水水質(zhì)可達(dá)到《電子級(jí)水國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T 11446.1-2013）中 EW-1 級(jí)要求，可直接用于晶圓清洗、電鍍漂洗等核心工藝；濃水處理單元針對(duì) RO 產(chǎn)生的濃水（含鹽量高、污染物濃度高），采用蒸發(fā)結(jié)晶技術(shù)（如多效蒸發(fā)、MVR 機(jī)械蒸汽再壓縮）將濃水濃縮至固液分離，結(jié)晶鹽可作為危廢處置或資源化利用，冷凝水回用于前端工藝；中水回用則是將經(jīng)物化 + 生化處理達(dá)標(biāo)但未經(jīng)過雙膜處理的廢水，作為中水用于車間地面沖洗、設(shè)備冷卻、廠區(qū)綠化等，回用率可達(dá) 50%-70%，大幅降低新鮮水消耗量。

電子廠廢水處理不僅是滿足環(huán)保法規(guī)要求的 “底線任務(wù)”，更是電子制造業(yè)實(shí)現(xiàn)綠色低碳、可持續(xù)發(fā)展的 “戰(zhàn)略環(huán)節(jié)”。未來，需進(jìn)一步推動(dòng) “分類收集 - 精準(zhǔn)處理 - 循環(huán)回用 - 智能運(yùn)維” 全鏈條技術(shù)創(chuàng)新，通過工藝優(yōu)化、資源循環(huán)與智能化升級(jí)，實(shí)現(xiàn) “環(huán)境效益、經(jīng)濟(jì)效益、社會(huì)效益” 的統(tǒng)一，為守護(hù)水環(huán)境安全、推動(dòng)電子信息產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供核心支撐。