集成電路（IC）產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代電子工業(yè)核心，當(dāng)前規(guī)模持續(xù)擴(kuò)張。但在晶圓制造、封裝測(cè)試等生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，會(huì)產(chǎn)生成分復(fù)雜、污染物濃度高的工業(yè)廢水。本文將介紹一家專注集成電路廢水處理的環(huán)保公司——蘇州依斯倍環(huán)保裝備科技有限公司，看他家是怎么處理這類廢水的。

蘇州依斯倍環(huán)保裝備科技有限公司是一家來(lái)自荷蘭外商投資的環(huán)保企業(yè)，于2011年在蘇州工業(yè)園區(qū)正式成立，致力于為集成電路廢水處理提供完整的循環(huán)利用及零排放解決方案，業(yè)務(wù)板塊涵蓋EPC系統(tǒng)交付、提標(biāo)改造、廢水站運(yùn)維托管等。依斯倍一直專注于工業(yè)廢水循環(huán)利用及零排放處理技術(shù)的研發(fā)，為客戶降低成本，努力構(gòu)建綠色生態(tài)循環(huán)系統(tǒng)，以“減量化”、“資源化”和“極小化”的“3R”原則為循環(huán)系統(tǒng)實(shí)施的核心。依斯倍工業(yè)廢水循環(huán)利用及零排放處理系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用于新能源汽車、機(jī)器人制造、航天航空、表面處理電鍍、涂裝生產(chǎn)線、電子半導(dǎo)體等行業(yè)。

一、集成電路廢水的來(lái)源與特點(diǎn)

集成電路生產(chǎn)涵蓋硅片制備、光刻、刻蝕、離子注入等多道工序，因使用高純化學(xué)品和超純水清洗，產(chǎn)生多種廢水：含氟廢水、含重金屬?gòu)U水、有機(jī)廢水、含磷廢水、含氨氮廢水。

這類廢水特點(diǎn)顯著：成分復(fù)雜、污染物種類多；水質(zhì)水量受生產(chǎn)工藝影響，波動(dòng)大；氟化物、重金屬等污染物毒性高、難降解；對(duì)出水水質(zhì)要求嚴(yán)苛，部分需達(dá)到回用標(biāo)準(zhǔn)。

二、集成電路廢水處理的主要工藝技術(shù)

處理遵循“分類收集、分質(zhì)處理、綜合回用”原則，結(jié)合多類技術(shù)：

1. 分質(zhì)預(yù)處理：含氟廢水用化學(xué)沉淀法，投加石灰生成氟化鈣沉淀；含重金屬?gòu)U水通過(guò)調(diào)pH或用硫化物沉淀等方法處理；有機(jī)廢水采用Fenton氧化、生物處理等降解；酸堿廢水經(jīng)中和反應(yīng)調(diào)至中性。

2. 綜合處理：預(yù)處理后廢水先經(jīng)混凝沉淀去懸浮物，再用A/O、MBR等工藝生化處理，最后通過(guò)高級(jí)氧化、反滲透等深度處理凈化。

3. 污泥處理：產(chǎn)生的危險(xiǎn)污泥經(jīng)濃縮、脫水、穩(wěn)定化/固化后，由資質(zhì)單位處置。

三、廢水回用與資源化

為應(yīng)對(duì)資源與環(huán)保壓力，企業(yè)推行“零排放”或“近零排放”，廢水回用率超70%，可用于冷卻補(bǔ)水、綠化沖洗，深度處理后還能作為超純水原水。部分企業(yè)還從廢水中回收金、銀、銅等金屬，實(shí)現(xiàn)資源循環(huán)。

集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展需環(huán)境友好支撐，高效廢水處理是企業(yè)履責(zé)、保障產(chǎn)業(yè)鏈安全的基礎(chǔ)。隨著法規(guī)趨嚴(yán)與技術(shù)進(jìn)步，集成電路廢水處理將更智能、綠色、可持續(xù)，為“中國(guó)芯”崛起保駕護(hù)航。